第049章 捅破一层窗户纸
第一次进入清大光刻机车间，赵国庆有些激动，直接直奔主题，几个关键技术。 “何教授，你们这光刻机用的什么光源？” “你还真懂光刻机啊！” 赵国庆笑了笑：“书上有介绍！” 何振华说：“用的高压汞灯光源，436纳米的蓝光汞g线，这类高压汞灯光源目前已经达到国际先进水平！” 好吧，国际先进水平，国际上十年前都已经开始研究波长更短的紫光激光电源了。 赵国庆想起KMBBF晶体，前世的他发现KMBBF晶体在零下213摄氏度的时候，出现超导现象。 就在他用x光穿透KMBBF晶体，想要检测KMBBF晶体的分子结构时，发现进入超导状态的KMBBF晶体，竟然可以反射X光。 这可是了不得的发现。 X光因为有强大的穿透力，目前任何透镜都不能让他转移方向，而KMBBF晶体如果能让X光反射的话，可以通过凹面镜，缩小掩膜版的图像，对光刻机光源有着颠覆的变革。 可惜的事，发现这件事后，没多久就挂了，没有再研究下去。 不过，现在，他有足够的时间继续这项研究。 何振华教授继续介绍，从口气中听出的，全部是遥遥领先。 “采用的是国际先进的非接触式透镜曝光方法，成像质量高，比起三年前H大制作的接触式曝光，可以显著提高掩膜版的使用寿命，并且透镜曝光可以以掩膜版比光刻图案5:1的比例，可以制造更复杂的芯片。” 赵国庆点点头，他虽然对光刻机算不上内行，但怎么也能说是见多识广。 Intel、IBM的芯片制造厂他都进去过，从九十年代一直到2023年，国外光刻机一路演变，他还是清楚的。 “436纳米的蓝光汞g线光源，加上非接触式掩膜曝光工艺，理论上可以制造一微米制程的芯片！” 若采用多重曝光甚至可以制造500纳米制程的芯片，或者水膜浸润工艺，当然技术难度更高一些，极致可以制造250纳米芯片，这些话没办法说。 至于用九十年代发明的KBBF晶体升级极紫外光，还有双工台提升商用制造效率，现在还是没影的事。 能不能现在开始布局？ 没说的，肯定要干啊！ 赵国庆的问题，何振华教授没有回答，而赵国庆也发现了一些问题。 “校准采用的是人工校准！” 光刻流程不是一步到位，有时候需要反复多次，所以再次光刻，位置如果有细微的改变，往往意味着制造失败，所以需要校准。 而校准的办法就是在晶片上留下一个标志，以这个标志来校正。 何振华摇摇头。 “国内最先进的魔都电机厂都没有合适的伺服电机，国内的光压传感器灵敏度不够，只能用人工校准，我们采用三轴人工校准装置，误差可以精确在一百纳米。” 赵国庆摇摇头，这台光刻机根本没有商业方面的使用前途，XYZ三轴人工校准，虽然没看他们cao作，时间上肯定不会短。 “光刻胶，蚀刻氟化氢……” “进口日本的？” “曝光用的透镜呢！” “进口日本尼康！” 好吧，赵国庆大概也明白了。 “之所以没办法制造一微米制程的芯片，是不是因为晶体管连接的铝导线的原因？” 何振华惊讶的看向赵国庆，这事他可一点也没有向赵国庆透露。 高昌明亦是长叹，这小赵一次又一次刷新他的认知。 看看何振华的表情就明白了，第一次见面的时候，是高高在上的姿态，今天呢，已经把赵国庆当成一个平等对待的人了，而现在，似乎稍微带着一点仰视。 “你怎么知道的？” 赵国庆若无其事的说道：“光源、透镜、校准，还有胶体、蚀刻材料都没有问题，那只能是晶体管铝互联发生了问题，谁都知道，硅衬底跟金属铝会发生扩散，制程越小扩散越严重，直到不能工作！” “我如果猜的没错的话，你们三微米，甚至五微米制造的芯片，恐怕也不能实现设计的频率吧！” “……” 谁都知道，为什么我就不知道，高昌明很无语。 “你怎么知道的？” 赵国庆说：“何教授，你可以翻一下1974年《微电子行业》期刊，上面就有介绍！” “……” 知道了症结，要解决就容易了，赵国笑着对何振华说：“何教授，我有办法，你信吗？” “你有办法？” “加一层隔离金属层就行！” 用一层金属层将铝与硅隔离开来，隔绝彼此扩散。 何振华摇摇头说：“我们也想着用一层金属隔离层，但还没有找到合适的材料！” 有时候就是这么扯淡，很多时候，就因为一个小东西，阻挡技术进步多年，等到公开后，才发现，特么的就是一個屁。 “何教授，试一试用钨，上次你做发光半导体用的金属原子蒸馏器就可以，晶片上硅衬底上，先沉积一层钨薄膜，再上铝导线层。” “真的能行？” 何振华眼睛直直的看向赵国庆，要是真能行的话，直接从五微米制程，进展到一微米制程，这意义，不可谓不大。 高昌明也坐不住了。 “国庆，科技部刚刚发的文件，要巩固五微米，攻关三微米，迈步一微米制程，你这不咸不淡的一句话，科技部发的文倒成了笑话了。” “有这文件？我还以为我们可以生产一微米制程的芯片呢？” “……” 何振华摇摇头。 “也不费事，设备都有，试试看吧！” ………… 赵国庆长呼一口气，能帮的也就这么些了，不过这些透镜、光刻蚀刻材料都是日本进口的，也是挺让人忧虑的。 还有就是工艺自动化，如果不解决，光刻机项目永远没办法商用，也就是说永远没有自动造血能力。 赵国庆跟高昌明说：“高所长，如果有可能的话，14所还是要进几台尼康的光刻机。” 现在的ASML还是个小弟，最先进的还属日本的光刻机，能搞几台进行逆向工程，积累一些技术基础，还是很有必要啊！