第056章 赵中书回来了
对何振华来说，解决一微米制程的需求，远比铜导线要急迫的多，在车上，何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。 这些专业的问题，徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。 “高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米，i线365纳米，最理想的状态肯定是滤除g线，只保留i线，事实上i线占比太小，我们没办法得到足够功率的i线光源……” 研究光刻机的都知道，波长越短的光线，分辨率越高，这跟光的一项特性有关。 那就是双缝干涉，波长越长，干涉的缝间距越大。 365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。 但技术上达不到，也只能干瞪眼。 “试一试用水！” “水” 什么情况？何振华脑子一脸懵。 赵国庆说：“436纳米光线入水，速度降低大概33%，频率不变的情况下……” “波长会变短！”何振华声音因为激动，音调变得很高，将所有人的目光吸引过来了。 “国庆，你真是个天才，我怎么没想到，按照这么来计算的话，在水中436纳米的波长，也就相当于326纳米的光线，比起i线365纳米更要优秀！” 赵国庆点点头，好吧，先让你兴奋兴奋，这是二十年后的技术，需要将整个工台浸到水里，光刻的过程也在水中进行。 需要高纯水，还要解决污染问题，相应的光刻胶稳定，介质也要解决，气泡怎么办？还有整个工台的防水处理。 这一个个问题可不怎么容易解决。 但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。 希望清大在这一块能有始有终吧。 浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发，因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44，入水后波长只有134纳米，比起157纳米深紫光源更加优秀。 兴奋过后的何振华看向张朝新主任，微微点头。 眼神中在说：“你看人家简简单单一句话，为我们解决了一個大问题。” 张朝新也是技术出身，对光刻机光源这块的难度有深刻的体会。 光刻机光源难在光源发生器，一定要高功率的光源，能量不够的不行，其二就是棱镜，需要用棱镜的折射过滤掉其他波长的光线，不光在高精加工，还是材料这一块，难度都是顶级的，需要海量的基础物理研究和实验。 而现在，面前的小伙子简简单单一句话，就开辟了一个新思路。 都是道光线入水之后，波长变短，可谁也没想到用在光刻机上啊！ 张朝新笑道：“他山之石，可以攻玉，小赵老师一句话，点醒梦中人啊！” 何振华又聊到铜导线技术。 赵国庆摇摇头：“铜导线工艺跟铝导线工艺完全不同，两者物理性质也大相径庭，我有一些思路，不过还需要经过物理方面的论证！” “国庆，我们清大微电子有这个条件，你看……” 赵国庆很无奈，清大的功利性太强了，赵国庆感到，清大的目标也就是把1微米或者更短的制程能做出来，但对是否能商用话，并不是太关心。 当然这也是华国目前科研的特点，而且光刻机商业化应用，目前来看，几乎没有多少！ 当然送上门去服务，赵国庆现在兴趣不大。 到了成飞，已经是下午，因为提前通知，成飞一干管理层大部分到场。 14所能把清大这个金凤凰引过来，成飞还是很重视的，一把手许官庄还有不少管理层、技术骨干都是出身在清大。 赵国庆一眼就看到赵中书，赵中书看到赵国庆也很高兴，双方握手见面后，赵中书立马把赵国庆拉到一边。 “走，小赵，跟我回办公室，给你看一些东西！” “……” 赵国庆被弄的一头雾水。 待到赵中书拿出一叠叠照片给赵国庆看，赵国庆才明白，这是赵总师跟他展现考察成果呢！ “国庆啊，我后悔了，当时没有强烈要求你跟着去，你要是去了，肯定会大开眼界，你看看这个是什么？” 赵中书指着一张照片问赵国庆。 赵国庆差点要笑出来，拿着照片做模做样的观察了一番，说：“这是一台机载雷达吧，图片上发射端子上没有接受的端子，我估摸着这是一台无源相控阵雷达，对了赵总师，你们看到有源相控阵雷达了吗？比这个更先进一些。” “” “你怎么看出来是相控阵雷达的，你怎么知道有源还是无源，特么的，格鲁曼给我们看的不是最先进的啊，我就知道洋鬼子没那么好心思！” 赵国庆说：“相控阵雷达早在六十年代，毛熊就提出来了，用发射端的相位移动来叠加雷达波，从而控制雷达波的发射方向，我们国内现在还用的老式的多普勒雷达，发射雷达波还需要改变天线的方向，在战场上灵活度，确实不如相控阵雷达。” “还真没有能难住你的！”赵中书紧盯着赵国庆，说：“国庆，那伱说说，什么是有源，什么是无源相控阵？” “赵总师，你别为难我了，我就是知道个大概，有源跟无源最大的区别就是接收端，无缘相控阵雷达是整体的接收器，有源相控阵雷达的每个发射端，同时也是雷达波的接收端，所以就跟苍蝇的复眼一样，对目标的探测更加精准！” 赵中书长呼一口气，摇摇头说：“还真不知道有什么能难得住你，既然你知道原理，能做吗？” 赵国庆想了想说：“赵总师，我觉得相控阵雷达最大的难点就是芯片，需要计算机控制几百个发射端发的雷达波，每个发射端的发射时间，相位、频率、波长都要精密控制，这样才能叠加成发散的脉冲雷达波……” “那能不能做？” 赵国庆没说话，图纸能画出来，但是清大能不能把芯片做出来，他还真的没什么底气。 “说的再多也没用，做不出来都是白瞎！” 这话说的，赵国庆很不服气。 “赵总师，成飞要是能进口一台尼康的NSR-1010G光刻机，我就给你手搓一台相控阵雷达！” “……”